Описание
3D-Мультисенсорное позиционирование и измерительная система с высокой точностью
Система выбора датчиков, например лазерный фокусный датчик ОРС-серии, туннельные сканирующие сенсоры атомно-силовых микроскопов, интерферометр белого света, 3D-микро зонды.
Режимы работы:
-система динамического позиционирования
— измерительная система, работающая в любом режиме: непрерывного сканирования или пошаговом режиме
— управление NNM-1 использует простые в использовании алгоритмы сценария на персональном компьютере
